半导体抛光

2022年8月3日

无损抛光法宝:研磨液(Slurry)

CMP研磨液(SLURRY)是工件表面平坦化工艺过程中所使用的一种混合物,由研磨材料及化学添加剂组成。晶片(WAFER)表面是不平整的,并且制作过程中烟尘较大,无法保证其平整度合格;因此就需要化学机械研磨平坦化的协助,即将研磨液与研磨刷进行搭配使用,通过用力摩擦和拼命旋转的过程,将不平整的部分给磨平。而磨掉的部分包括有铜膜、氧化硅膜、钨膜、硅膜、LOW-K膜等等。